具有纳米级分辨率的表面微观形貌精密非接触式控制。该方法可获取浮雕的三维数据，用于定量评估微结构的粗糙度、缺陷和几何参数。

设备

Nikon BW-S505 光学轮廓仪

视野（单帧）

高达 500×500 微米

高度分辨率

高达 1 纳米

FVWLI（白光）

测量原理

测量结果

3D图像 + 数值分析

全场白光干涉法可实现对表面的无损检测，精度达到亚纳米级。该技术基于分析相干辐射扫描表面时产生的干涉图样。

设备可自动获取地形图并进行后续的数据定量处理。可进行静态和动态测量，包括粗糙度、波纹度控制以及微观形貌参数监测。

圣彼得堡技术园无线电电子仪器仪表工程中心提供使用Nikon BW-S505光学轮廓仪的表面轮廓测量服务，该设备采用FVWLI技术（全场白光干涉）。该方法可在不接触样品的情况下获取精确的微观形貌3D数据，高度方向具有纳米级分辨率。

此项服务用于粗糙度分析、微观缺陷检测、微体积深度测量以及精加工质量控制。适用于微电子、材料科学、精密机械及其他相关领域的工艺控制和科学研究。

测量由专业人员执行，可根据客户要求解读结果并出具报告。

应用领域

微电子与微波器件

精密机械与机械制造

材料科学与纳米技术

科学研究与开发

工作阶段

优势

纳米级测量精度

非接触式全3D成像

快速处理与可视化

案例展示

费用

服务名称

费用

针对圣彼得堡中小企业（-20%）

针对圣彼得堡无人机系统科研中心入驻企业（-30%）

使用BW-S505光学轮廓仪进行表面轮廓测量

使用BW-S505光学轮廓仪进行表面轮廓测量并构建3D模型

1 150 ₽

1 680 ₽

920 ₽

1 344 ₽

805 ₽

1 176 ₽

Irina Kostenko

圣彼得堡技术园无线电电子仪器制造区域工程中心主任

i.kostenko@spbtech.ru

+7 (812) 670-10-85 (分机 309)

地址

扎涅夫斯基大街 30 号 2 号楼

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